罗姆请求复合衬底及其制作办法专利降低了构成在SiC单晶基上的含碳层的外表粗糙度

　　金融界2024年12月10日音讯，国家知识产权局信息数据显现，罗姆股份有限公司请求一项名为“复合衬底及其制作办法”的专利，公开号 CN 119092395 A，请求日期为2024年5月。

　　专利摘要显现，本发表供给一种降低了构成在SiC单晶基上的含碳层的外表粗糙度(Ra)的复合衬底。此外，本发表供给一种复合衬底的制作办法。本发表的复合衬底具有：SiC单晶衬底；以及含碳层，与SiC单晶衬底的外表相接地装备，且包含重构外表层和石墨烯层层叠而成的层叠体或石墨烯层的恣意一种；且在使用原子力显微镜所进行的观测中，每2×2μm2中的与SiC单晶衬底相接的含碳层的外表粗糙度(Ra)为1.0nm以下。

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